2011-04-23

氧化锌铝靶材的制备方法，包括以下步骤：（１）以锌盐和铝盐为原料，加纯水溶解，调ｐＨ至７．０～１０．５，然后在水热条件下，控温９０～１４０℃反应１．０～２．０小时；（２）过滤使产物和母液分离，用纯水洗涤、烘干，得到氧化锌铝粉体；（３）所得粉体在４００～５５０℃煅烧２小时；（４）将步骤（３）所得粉体装入真空热压炉，抽真空１～１００Ｐａ，加压５０～１００ＭＰａ，然后慢慢升温，在１２００～１４００℃内保温烧结２～５小时，再缓慢降温，制得相对密度不低于９５％的氧化锌铝（ＺＡＯ）陶瓷靶材。所制备的靶材用于镀膜制造成本经济且无毒，易于实现掺杂，且ＺＡＯ薄膜在等离子体中稳定性好，是ＩＴＯ的替代产品，可广泛用于太阳能透明电极制造领域。